(주)그린산업가스는 국내 최대의 산업용 가스제조업체로서 반도체 산업, 석유 화학, 금속공업 등의 실험, 연구 및 생산용으로 사용되는 사업용가스를 완벽한 공급체계를 갖추어 고객의 다양한 요구에 따라 가장 적절한 방법으로 안전 공급을 실시하고 있습니다.
고순도가스(Pure Gases)
고순도가스는 금속, 석유화학, 자동차 공업, 반도체산업 및 각종 실험, 연구생산용 , 환경관련 산업의 실험, 연구 및 생산용 등으로 사용되어지고 있습니다.
- 종류 및 순도
- 전용 고순도 배관 라인과 순도분석기를 통해 정밀하게 분석 확인 후 충전
-
- 유기화합물 : 네온, 산소, 수소, 알곤, 헬륨 등
- 무기화합물 : 탄화수소화학물, 메탄, 에탄, 프로판 등
- 용도
- 전용 고순도 배관 라인과 순도분석기를 통해 정밀하게 분석 확인 후 충전
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- 각종 분석기의 영점조정 및 캐리어가스
- 석유화학공업
- 환경 및 자동차 산업
- 금속산업의 분광분석기
- 반도체산업의 독성가스 Purge, Epitaxy, Diffusion, Oxide Sputtering 공정 등
- 실리콘봉 제조시 분위기 가스
- 전구 봉입용
가스명 Name of Gas |
순도(%) Purity |
분순물(ppm) Impurities |
용기(ℓ) Cylinder |
충전량 Contents |
밸브규격 Valve Outlet |
N₂ 고순도질소 Nitrogen |
99.999 |
O₂<1, CO< 0.2, CO2<0.1, CH4<0.1, H₂O<-76℃ |
10 |
1㎥ |
∮22-14山右 |
47 |
7㎥ |
N₂ 고순도질소 Nitrogen |
99.9999 |
H2<0.1, O₂<0.1, CO<0.01, CO2<0.05, CH4<0.01, H₂O<-79℃ |
10 |
1㎥ |
∮22-14山右 |
47 |
7㎥ |
O₂ 고순도산소 Oxygen |
99.995 |
N₂<10, H2<0.1, CO< 0.01, CO2< 0.1, CH4<0.2, H₂O<-77℃(Ar분 제외) |
10 |
1.5㎥ |
∮22-14山右 |
47 |
7㎥ |
H₂ 초고순도수소 Hydrogen |
99.9999 |
N2<0.1, O₂<0.1, CO<0.05, THC<0.01, H₂O<-77℃ |
10 |
1.5㎥ |
∮22-14山右 |
47 |
7㎥ |
LAr 초고순도알곤 Argon |
99.9999 |
N2<1, O₂<0.1, H2<0.1, CO< 0.01, CO2<0.1, CH4 < 0.01, H₂O< -79℃ |
10 |
1.5㎥ |
∮22-14山右 |
47 |
7㎥ |
He 초고순도헬륨 Helium |
99.9999 |
N2<0.2, H2<0.1, CO< 0.01, CO2<0.05, CH4<0.01, H₂O<-79℃ |
10 |
1.5㎥ |
∮22-14山右 |
47 |
7㎥ |
CO₂ 고순도탄산 Carbon Dioxide |
99.99 |
Air<30ppm, C2H6<760ppm, CH₄<760ppm |
10 |
1.5㎥ |
B22.5-140R |
47 |
6㎥ |
C₂H₂ 고순도아세틸렌 Acetylene |
99.99 |
C4H8<11.3ppm, C2H6<4.1ppm, C2H4<0.76ppm, H₂<190ppm, H2S<10ppm, O2<380ppm, N₂<0.74%, C0<117ppm, CO₂<10ppm, CH₄<760ppm, H₂O<N.D ppm, NH3<20ppm |
47 |
7㎥ |
B22.5-141L |
Air 고순도압축공기 Special Air |
99.999 |
N₂< 99.99999%
O₂≤ 1.0ppb(≤0.5ppb)
CO ≤1.5ppb(≤1.0ppb)
CO₂≤1.0ppb(≤1.0ppb)
CH₄≤5.0ppb(≤0.2ppb)
Moisture ≤ 5.0ppb(≤0.5ppb) |
10 |
1.5㎥ |
B22.5-140R |
47 |
7㎥ |