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반도체용가스

반도체용 가스는 반도체의 특성을 만들기 위한 Doant, Etchant, Reactant, Reactant, Purge 가스 등으로 구분되며 그 종류가 다양하고 대부분 독성이며, 높은 순도를 요하며, LSL, LED, LCD 등과 같은 반도체 장치의 제조에 사용되는 가스를 말합니다.

이러한 반도체용 특수가스는 높은 가연성과 독성을 지니고 있어 극히 위험하기 때문에 생산, 검사, 운송시 고도의 관리가 요구된다. (주)그린산업가스의 표준가스는 철저한 품질관리와 정밀분석법으로 고객의 요구에 부응하고 있습니다.

용도

  • 반도체 제조산업
  • 반도체 제조 연구용

반도체용 특수가스의 종류

Silicon Group
Silicon Group
분자식 한글명 영문명
SiH₄ 모노실란 Silane
Si₂H6 디실란 Disilane
SiF₄ 4불화규소 Silicon Tetrafluorosilane
SiCl₄ 4염화규소 Silicon Trichlorosilane
SiHCl₃ 3염화실란 Trichlorosilane
SiH₂Cl₂ 디클로로실란 Diclorosilane
Aresenic Group
Aresenic Group
분자식 한글명 영문명
AsH₃ 알루신 Arsine
Phosphorus Group
Phosphorus Group
분자식 한글명 영문명
PH₃ 포스핀(인화수소) Phosphine
Boron Group
Boron Group
분자식 한글명 영문명
B2₂H6 디보란 Diborane
BF₃ 3불화붕소 Boron trifluoride
BCl₃ 3염화붕소 Boron trichoride
BBr₃ 붕소 Trichlorosilane
Hydride Group
Hydride Group
분자식 한글명 영문명
GeH₄ 모노게르만 Monogermane
H₂Se 세렌화수소 Hydrogen Selenide
Halogen, Halogenide Group
Halogen, Halogenide Group
분자식 한글명 영문명
F₂ 불소 Fluorine
Cl₂ 염소 Chlorine
NF₃ 3불화질소 Nitrogen Trifluoride
SiCl₄ 6불화황 Sulfur Hexafluoride
SiHCl₃ 6불화텅스텐 Tungsten Hexafluoride
SiH₂Cl₂ 염화수소 Hydrogen Chloride
HF 불화수소 Hydrogen Fluoride
HBr 브롬화수소 Hydrogen Bromide
Hi 요화수소 Hydrogen Iodide
ClF₃ 3불화염소 Chlorine Trifluoride
Halogeno - Hydrocabon Group
Halogeno - Hydrocabon Group
분자식 한글명 영문명
CHF₃ 3불화메탄 Trifluoromethane
CF₄ 4불화메탄 Tetragluoromethane
C₂F6 6불화에탄 Hexafluoroethane
C₃F8 8불화프로판 Perfluoropropane
C₄F8 8불화시키로 Octafluorrcyclobutane
CHCl₃ 클로폼  
Nitrogen Oxide Group
Nitrogen Oxide Group
분자식 한글명 영문명
N₂O 일산화질소 Nitrous Oxide
E.T.C. Group
E.T.C. Group
분자식 한글명 영문명
NH₃ 암모니아 Ammonia
CO₂ 이산화탄소 Corbon Dioxide
H₂S 황화수소 Hydrogen Sulfide
SiCl₄ 4염화규소 Silicon Trichlorosilane
SiHCl₃ 3염화실란 Trichlorosilane
Carrier Gases Group
Carrier Gases Group
분자식 한글명 영문명
H₂ 수소 Hydrogen
N₂ 질소 Nitrogen
O₂ 산소 Oxygen
He 헬륨 Helium
Ar 알곤 Argon
E.T.C.
E.T.C.
분자식 한글명 영문명
(CH₃O)₃PO 트리메틸파스메이트  
PF₃ 삼불화인  
CH₃F   Methyl Fluoride
CHClF₂ 염화2플루오르화메탄 Monochlorodifluoro methane
(CH₃O)₃B 트리메틸 보레이트 Trimethyl borate
POCl₃ 옥시염화인 Phosphorus oxychloride
PF5 오불화인 Phosphorus pentafluoride
CHF₃ 3플루오르화메탄 Methane trifluoride
(CH₃O)₃PO 트리메틸파스페이트  
(C₂H5O)₄Si 테트라에톡시실란 Tetraethhoxysiline
(C₂H5)₂Te 디에틸텔루라이드  
C₄F8 옥타플루오르싸이클로부탄  
Balance
Balance
영문명 분자식
Arsine in Semiconductor Purity Background Gas AsH₃ / Ar, He, H₂, N₂ Balance
Diborane in Semiconductor Purity Background Gas B₂H6 / Ar, He, H₂, N₂ Balance
Phosphine in Semiconductor Purity Background Gas PH₃/ Ar, He, H₂, N₂ Balance
Silicon Tetrafluoride / Oxygen SCl₄/O₂ Balance
Halocarbon14/ Oxygen Mixtures SCF₄/O₂ Balance