| ºñ°¡¿¬¼º, ¾×ü°¡½º, °í¾Ð°¡½º |
| |
 |
| (1) ¼øµµ ¡Â 99.999% |
| (2) H2O ¡Â 1ppm |
| (3) »êÇÔÀ¯·® ¡Â 0.1ppm |
| (4) CF4 ¡Â 10ppm |
|
| |
 |
| ½Ç¸°´õ |
ÃæÀü·®(±â¾Ð/20¡É) |
ÀûÁ¤¹ëºê |
¹ëºêÇüÅ |
48A
47S |
ÃÖ´ëÃæÀü·®=1.98kg/L |
DSP-2
D-52
SCV |
22mm¥Õ¡¿14¼±
¡¿¿ì³ª»ç |
| ÃÖ´ë - 50kg |
Ç¥ÁØ - 50, 40, 20kg
40kg(vp=20.7kg/§²G
|
10A
10S |
ÃÖ´ë - 10kg |
Ç¥ÁØ - 10, 5kg
10kg(vp=20.7kg/§²G
|
DSP-1 |
M18¡¿1.5
3/8MCG |
| 10T |
|
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| (1)¸ô ºñÁß : 146.05 |
| (2)ºñµîÁ¡ : -63.8¡É |
| (3)ºñÁß(°ø±â=1) : 5.11 |
| (4)±â¾Ð : 0¡É = 11.7kg/§²G |
10¡É
= 15.8kg/§²G
20¡É
= 20.7kg/§²G
30¡É
= 26.5kg/§²G
40¡É
= 33.2kg/§²G |
| (5)ÃæÀü°è¼ö : 0.91 |
| (6)ÇüÅ : ¹«»ö |
| (7)³¿»õ : ¹«Ãë |
| (8)¿¬¼Ò¹üÀ§ : |
| (9)°¡¿ë¼º : 5.4cc/kg, H2O |
| (10)µ¶¼º(TLV) : 1,000ppm |
| (11)»ç¿ë°¡´É ¹°Áú(¿ë±â) : ´ë´Ù¼ö |
| (12)±Ý¼Ó »ç¿ë°¡´É |
| (13)Æø¹ß¹üÀ§ : ºñ¿¬¼Ò¼º |
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