가스명 Name of Gas 순도(%) Purity 분순물(ppm) Impurities 용기(ℓ) Cylinder 충전량 Contents 밸브규격 Valve Outlet HCl 99.999 O₂<1, N₂<1 CO₂<1, H₂O<1 10 5kg φ22-14山 右 47 25kg Cl₂ 99.999 O₂+ N₂<2 CO₂<2, H₂O<1 1 1kg φ22-14山 右 10 10kg 47 50kg 47 25kg BCl₃ 99.999 Ni<0.001, Mn<0.001 Fe<0.004 1(SUS제) 1kg φ22-14山 右 10(SUS제) 10kg 47(SUS제) 50kg CCl₄ 99.999 O₂<1, N₂<1 CO₂<1, H₂O<5 1 1kg φ22-14山 右 10 10kg NF₃ 99.99 O₂<5, N₂<5, SF6<1 CO₂<5, H₂O<5, HF<1 N₂O<5, CF₄<40 3.5 0.3kg φ22-14山 右 10 1kg 47 5kg 47 25kg SF6 99.999 Air<10, CF₄<10 산분<0.1, H₂O<1 10 10kg φ22-14山 右 47 40kg CF₄ 99.999 O₂<5, N₂<10, THC<1 CO₂<1, H₂O<2, HF<0.4 10 7kg φ22-14山 右 47 32kg CHF₃ 99.999 O₂+ N₂<50 HF<0.1, H₂O<5 10 5kg φ22-14山 右 47 20kg 47 25kg C₂F6 99.999 O₂<10, N₂<25, HF<1 CO<2, H₂O<5, CO₂<1 47 30kg φ22-14山 右

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